Computational thermodynamic study of SiC chemical vapor deposition from MTS‐H 2 *

Autor:	J. Allen Haynes, Brian C. Jolly, David J. Mitchell, Jian Peng, Dongwon Shin
Rok vydání:	2021
Předmět:	Computational thermodynamics Materials science Chemical engineering Materials Chemistry Ceramics and Composites Chemical vapor deposition
Zdroj:	Journal of the American Ceramic Society. 104:3726-3737
ISSN:	1551-2916 0002-7820
DOI:	10.1111/jace.17742
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::234c6a142dddbf47fcd2051ec9468fa4 https://doi.org/10.1111/jace.17742 Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu PDF