Selective Crystallization of Ferroelectric HfxZr1–xO2 via Excimer Laser Annealing

Autor:	Myeong Seop Song, Kunwoo Park, Kyoungjun Lee, Jung Woo Cho, Tae Yoon Lee, Jungwon Park, Seung Chul Chae
Rok vydání:	2023
Předmět:	Materials Chemistry Electrochemistry Electronic Optical and Magnetic Materials
Zdroj:	ACS Applied Electronic Materials. 5:117-122
ISSN:	2637-6113
DOI:	10.1021/acsaelm.2c01555
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::2348d36d54a56cf2f19c1517dccd07fa https://doi.org/10.1021/acsaelm.2c01555 Zobrazit plný text záznamu