X-Ray Bragg Diffraction with Asymmetric and Skew Geometries

Autor: H. R. Höche, H. Höfer
Rok vydání: 1992
Předmět:
Zdroj: Physica Status Solidi (a). 134:87-92
ISSN: 1521-396X
0031-8965
DOI: 10.1002/pssa.2211340106
Popis: Asymmetric geometries in X-ray diffraction are frequently used to reduce the penetration depth, in particular for investigations of single crystal semiconductor materials with near surface layer structures. In these cases the reflecting planes are not parallel to the entrance surface. In asymmetrical coplanar geometries the reduction of the penetration depth due to small angles of incidence is connected with increasing peak width in the rocking curves. The skew reflection geometries realize a lower amount of the penetration depth than symmetrical coplanar geometries without such an increase of the halfwidth of the experimental rocking curves like in asymmetrical geometries on the same reflecting plane. Investigations with a double crystal diffractometer of 422 or 224 reflection with CuKα1 radiation on a nearly 388-oriented silicon crystal are done to check the range of validity of the so-called conventional dynamical theory. These experiments show how the conventional dynamical theory can be used to describe skew Bragg reflections. Asymmetrische Geometrien werden haufig in der Rontgenstrahlbeugung verwendet, um die Eindringtiefe zu reduzieren, insbesondere bei Untersuchungen von einkristallinen Halbleitern mit oberflachennahen Strukturen. In diesen Fallen sind die reflektierenden Flachen nicht parallel zur Einfallsoberflache. In asymmetrischen, komplanaren Geometrien ist die Reduzierung der Eindringtiefe aufgrund kleiner Einfallswinkel mit zunehmender Breite der Rockingkurve verbunden. Schiefe Reflexionsgeometrie ergibt eine geringe Eindringtiefe ohne diese Verbreitung der Rockingkurve. Untersuchungen mit einem Doppelkristalldiffraktometer mit CuKα1-Strahlung in 422 und 224 Reflexion an einem ≈ 388-orientrierten Si-Kristall werden zur uberprufung der sogenannten konventionellen dynamischen Theorie unternommen. Die Experimente zeigen, das diese Theorie zur Beschreibung schiefer Bragg-Reflexionen angewendet werden kann.
Databáze: OpenAIRE
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