相移与焦移法在调制度测量轮廓术中的应用
| Autor: | 陆泳屹 Lu Yongyi, 钟敏 Zhong Min, 赵旭 Zhao Xu, 王嘉卉 Wang Jiahui, 张学琴 Zhang Xueqin, 李敏 Li Min, 甘曜玮 Gan Yaowei, 戴湘麟 Dai Xianglin, 黄锴志 Huang Kaizhi |
|---|---|
| Rok vydání: | 2022 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Acta Optica Sinica. 42:1512004 |
| ISSN: | 0253-2239 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|