A Study on the Effect of 50 keV Nitrogen Ion Implantation in Mg2Si Thin Films

Autor: Suniksha Gupta, Smita Howlader, Satyavir Singh, Atul Sharma, K. Asokan, M. K. Banerjee, K. Sachdev
Rok vydání: 2023
Předmět:
Zdroj: Silicon.
ISSN: 1876-9918
1876-990X
DOI: 10.1007/s12633-023-02521-4
Databáze: OpenAIRE
Externí odkaz: