Interprocess control of critical dimensions in production of MEMS

Autor:	A. Isachenko, N. Izrailev, A. Kazachkov, D. Shamiryan, I. Rod
Rok vydání:	2018
Předmět:	Microelectromechanical systems Computer science Control (management) Production (economics) Automotive engineering
Zdroj:	Nanoindustry Russia. :328-334
ISSN:	1993-8578
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::2166f946f49c81aea32751008a30a4b0 https://doi.org/10.22184/1993-8578.2018.84.5.328.334 Zobrazit plný text záznamu