TiN film for Transparent Conductors Formed by Pulsed Laser Deposition in Reactive Gas
Autor: | Hiroki Yoshida, Yukio Sakagami |
---|---|
Rok vydání: | 1998 |
Předmět: | |
Zdroj: | The Review of Laser Engineering. 26:559-562 |
ISSN: | 1349-6603 0387-0200 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |