Hochgenaue Kalibrierung eines holografischen Multi-Punkt-Positionsmesssystems
| Autor: | Flavio Guerra, Michael Ringkowski, Tobias Haist, Michael Tscherpel, Simon Hartlieb, Wolfgang Osten, Oliver Sawodny |
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| Rok vydání: | 2020 |
| Předmět: |
Computer science
Calibration (statistics) business.industry Image processing 02 engineering and technology 01 natural sciences 010309 optics 0103 physical sciences 0202 electrical engineering electronic engineering information engineering 020201 artificial intelligence & image processing Computer vision Artificial intelligence Electrical and Electronic Engineering business Instrumentation |
| Zdroj: | tm - Technisches Messen. 87:504-513 |
| ISSN: | 2196-7113 0171-8096 |
| Popis: | Zusammenfassung Mit einem Multi-Punkt-Positionsmesssystem ist es möglich, Positionen und Orientierungen mit sehr hoher Genauigkeit bildbasiert zu messen. Das Messsystem besteht aus einem einfachen Kamerasystem, das um ein diffraktives optisches Element (DOE) erweitert wird. Durch die Multi-Punkt-Methode (MPM) werden Messunsicherheiten von deutlich unter 1/100 Pixel erzielt. Um dies in der Praxis anwenden zu können, ist eine entsprechend hochgenaue Kalibrierung nötig. In diesem Beitrag werden verschiedene Kalibrierverfahren und -funktionen vorgestellt und untersucht. Die Auswertung zeigt, dass sich zur Kalibrierung ein allgemeiner Polynomansatz zusammen mit der Nanomess- und Positioniermaschine NPMM-200 am besten eignet. Es werden Standardabweichungen des Restfehlers von 0,31 µm im Objektraum (etwa 6/1000 Pixel im Bildraum) auf einer Fläche von etwa 87 mm × 49 mm 87\hspace{0.1667em}\text{mm}\times 49\hspace{0.1667em}\text{mm} erreicht (Polynomgrad = 9). |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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