Determination of the Parameters of the First Coating Layer Using Broadband Optical Monitoring of the Deposition Process

Autor: T. F. Isaev, Iu. S. Lagutin, A. A. Lagutina, D. V. Lukyanenko, O. F. Prosovskiy, A. V. Tikhonravov, A. G. Yagola
Rok vydání: 2021
Předmět:
Zdroj: Moscow University Physics Bulletin. 76:356-362
ISSN: 1934-8460
0027-1349
DOI: 10.3103/s002713492105009x
Databáze: OpenAIRE
Externí odkaz: