Diffusion des rayonnements X et visibles ; microscopie en champ proche : utilisation comparée pour la caractérisation des surfaces

Autor: M. Chassevent, Y. Haidar, J.J. Bonnet, E. Tollens, S. Menecier, Chouki Zerrouki, F. de Fornel
Rok vydání: 2004
Předmět:
Zdroj: Journal de Physique IV (Proceedings). 118:395-405
ISSN: 1155-4339
DOI: 10.1051/jp4:2004118046
Popis: Trois methodes ont ete utilisees pour caracteriser la rugosite de quelques echantillons. Deux de ces methodes sont basees sur la mesure du rayonnement diffuse (visible et X). La troisieme utilise la microscopie en champ proche (MCP). Dans un premier temps, une comparaison des deux premieres techniques a ete menee en utilisant une meme theorie v ectorielle de la diffusion. Bien adaptee au domaine du visible, cette theorie peut aussi etre utilisee dans le cas du rayonnement X. Les densites spectrales de puissance (dsp) de la rugosite, determinees experimentalement pour deux echantillons d'Alacrite XSH (alliage quaternaire a base de cobalt utilise en metrologie des masses), montrent des allures identiques dans le cas du visible et du rayonnement X a des incidences tres rasantes. Dans un deuxieme temps, la hauteur quadratique moyenne δ, caracteristique de la rugosite de ces deux echantillons, a ete determinee de facon "directe" par microscopie en champ proche, et a partir des dsp pour les deux autres techniques. La restriction a une bande commune des frequences spatiales accessibles a ces techniques, conduit a des valeurs de δ comparables aux incertitudes pres. Une validation des mesures X ainsi faite, un accent est mis sur leur apport complementaire par rapport au visible.
Databáze: OpenAIRE