SEM-EBIC studies of electrostatically damaged Si integrated circuits

Autor:	Jeremy D Russell
Rok vydání:	2018
Předmět:	Materials science law business.industry Optoelectronics Integrated circuit business law.invention
Zdroj:	Microscopy of Semiconducting Materials 2003 ISBN: 9781351074636
DOI:	10.1201/9781351074636-116
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::1e43b624cd0dd4b8ec6e1b42ad0b5a8e https://doi.org/10.1201/9781351074636-116 Zobrazit plný text záznamu