RF driven multicap source for positive and negative ion beam production
Autor: | D.S. McDonald, D.A. Bachman, K.N. Leung |
---|---|
Rok vydání: | 2005 |
Předmět: | |
Zdroj: | IEEE Conference Record - Abstracts 1992 IEEE International Conference on Plasma. |
DOI: | 10.1109/plasma.1992.697845 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |