Laboratory PVD system for investigation of magnetron sputtering deposition with various power delivery approaches

Autor:	Domanowski, Piotr, Slawomir Bujnowski, Oniszczuk, Anna W., Gajewski, Wojciech
Rok vydání:	2017
DOI:	10.13140/rg.2.2.24420.99204
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::1c496d5a9f74fbd9b0b98dab39b1e214 Zobrazit plný text záznamu