FIXED OXIDE CHARGE IN Ru-BASED CHEMICAL VAPOUR DEPOSITED HIGH-κ GATE STACKS
Autor: | Johannes Lindner, Roman Lupták, U. Weber, Kristína Hušeková, Karol Fröhlich, Peter Baumann, Milan Ťapajna |
---|---|
Rok vydání: | 2006 |
Předmět: | |
Zdroj: | Defects in High-k Gate Dielectric Stacks ISBN: 1402043651 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |