Insulation films for semiconductor devices

Autor:	Yasuo Miyadera
Rok vydání:	1989
Předmět:	Materials science business.industry General Chemical Engineering Optoelectronics Semiconductor device business
Zdroj:	Kobunshi. 38:952-955
ISSN:	2185-9825 0454-1138
DOI:	10.1295/kobunshi.38.952
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::1b9787157ba3158e59ac27d017dea1ca https://doi.org/10.1295/kobunshi.38.952 Zobrazit plný text záznamu