Нелокальный алгоритм анализа данных монохроматического контроля процесса напыления многослойных покрытий
| Jazyk: | ruština |
|---|---|
| Rok vydání: | 2019 |
| Předmět: |
thin film coatings
Materials science монохроматический оптический контроль numerical algorithms Process (computing) engineering.material Coating deposition тонкослойные покрытия monochromatic optical control Maxima and minima Coating анализ экспериментальных данных experimental data analysis engineering Deposition (phase transition) Monochromatic color Reflection coefficient Algorithm Layer (electronics) вычислительные алгоритмы |
| DOI: | 10.26089/nummet.v20r441 |
| Popis: | Предложен новый алгоритм определения значений экстремумов измеряемой в процессе напыления многослойного покрытия зависимости значения коэффициента отражения от оптической толщины напыляемого слоя. Алгоритм использует физическую модель процесса напыления, что позволяет использовать все данные измерений, накопленные регистрирующим прибором во время напыления слоя, в отличие от классических подходов, которые хорошо описывают зависимость коэффициента отражения только вблизи ее экстремума. Эффективность предложенного подхода продемонстрирована на примере моделирования процесса напыления 20слойного четвертьволнового зеркала. A new algorithm for determining the extrema in the dependence of the reflection coefficient on the optical thickness of the deposited layer is proposed. This reflection coefficient is measured during the deposition process of a multilayer coating. The proposed algorithm uses a physical model of the deposition process, which makes it possible to use all the measurement data accumulated by a recording device during the deposition of the layer in contrast to the classical approaches that adequately describe the dependence of the reflection coefficient only near its extremum. The efficiency of the proposed approach is shown by an example of modeling the deposition process for a 20-layer quarter-wave mirror. ВЫЧИСЛИТЕЛЬНЫЕ МЕТОДЫ И ПРОГРАММИРОВАНИЕ: НОВЫЕ ВЫЧИСЛИТЕЛЬНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ, Выпуск 4 2019 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|