Amplitude control system of drive-mode oscillations of MEMS gyroscopes

Autor:	Pavel Baranov, E. S. Barbin, T. G. Nesterenko, Lo Van Hao
Rok vydání:	2019
Předmět:	Microelectromechanical systems Physics law Acoustics Mode (statistics) Gyroscope Amplitude control law.invention
Zdroj:	IOP Conference Series: Materials Science and Engineering. 516:012009
ISSN:	1757-899X
DOI:	10.1088/1757-899x/516/1/012009
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::1b76694ae0d27c221ee28f180ccd0426 https://doi.org/10.1088/1757-899x/516/1/012009 Zobrazit plný text záznamu