Autor:	Ahmet F. Budak, David Z. Pan, Hao Chen, Keren Zhu, Mingjie Liu, Mohamed B. Alawieh, Shuhan Zhang, Wei Shi, Xiyuan Tang
Rok vydání:	2022
Zdroj:	Advances in Semiconductor Technologies. :43-60
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::1b37670fbc24d7e57e6c612a6ae31c36 https://doi.org/10.1002/9781119869610.ch3 Zobrazit plný text záznamu