Stabilization of MEMS accelerometer properties using stretchable beam structure

Autor:	Ryoji Okada, Takanori Aono, Atsushi Kazama
Rok vydání:	2016
Předmět:	Microelectromechanical systems Materials science business.industry Electronic engineering Optoelectronics business Accelerometer
Zdroj:	Transactions of the JSME (in Japanese). 82:16-00177
ISSN:	2187-9761
DOI:	10.1299/transjsme.16-00177
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::1afad002f97b282c6366d08e6df581f2 https://doi.org/10.1299/transjsme.16-00177 Zobrazit plný text záznamu