Untersuchungen zur Schichtdickenabhängigkeit von Beweglichkeit und Dotierung in epitaxialen Siliziumschichten auf Spinell und Saphir
| Autor: | Bänziger, Urs-Peter |
|---|---|
| Jazyk: | němčina |
| Rok vydání: | 1977 |
| Předmět: |
SILICIUM (CHEMISCHE ELEMENTE)
Physics ELECTRONIC STRUCTURE OF THIN FILMS (PHYSICS OF MOLECULAR SYSTEMS) EPITAXIALSCHICHTEN (PHYSIK VON MOLEKULARSYSTEMEN) SILICON (CHEMICAL ELEMENTS) THIN LAYER FORMATION BY VAPORIZATION AND CONDENSATION (PHYSICS OF MOLECULAR SYSTEMS) ELEKTRONISCHE STRUKTUR DÜNNER SCHICHTEN (PHYSIK VON MOLEKULARSYSTEMEN) |
| DOI: | 10.3929/ethz-a-000105446 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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