Formation of Patterned Sapphire Substrate using UV Imprint Processes
Autor: | Hidetoshi Shinohara, Fujiwara Shigeru, Hidetoshi Kitahara, Hiroshi Goto, Takaharu Tashiro |
---|---|
Rok vydání: | 2013 |
Předmět: | |
Zdroj: | Journal of Photopolymer Science and Technology. 26:113-117 |
ISSN: | 1349-6336 0914-9244 |
DOI: | 10.2494/photopolymer.26.113 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |