Polycrystalline Silicon in ULSI
Autor: | M.Y. Ghannam, R.P. Mertens |
---|---|
Rok vydání: | 2001 |
Předmět: | |
DOI: | 10.1016/b0-08-043152-6/01268-7 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |
Autor: | M.Y. Ghannam, R.P. Mertens |
---|---|
Rok vydání: | 2001 |
Předmět: | |
DOI: | 10.1016/b0-08-043152-6/01268-7 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |