Molecular Dynamic Simulation on the Crystallization of HfO2, Hf-aluminate, and Hf-silicate

Autor: Takahiro Yamasaki, Chioko Kaneta, Yuko Kosaka
Rok vydání: 2003
Předmět:
Zdroj: Extended Abstracts of the 2003 International Conference on Solid State Devices and Materials.
DOI: 10.7567/ssdm.2003.d-10-1
Databáze: OpenAIRE