Study of AlN thin films deposited by DC magnetron sputtering: effect of pressure on texture

Autor:	B.J. Gómez, M. A. Djouadi, B. Abdallah, J. García Molleja, Jorge Feugeas, Pierre-Yves Jouan
Rok vydání:	2016
Předmět:	Materials science General Physics and Astronomy Texture (crystalline) Sputter deposition Thin film Composite material
Zdroj:	Anales AFA. 26:190-194
ISSN:	1850-1168
DOI:	10.31527/analesafa.2015.26.4.190
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::183347390265edbf9b90d5783775f406 https://doi.org/10.31527/analesafa.2015.26.4.190 Zobrazit plný text záznamu