Epitaxial Growth Controlled in Three Dimensions. SENTAXY Selective Nucleation based Epitaxy
Autor: | Takao Yonehara |
---|---|
Rok vydání: | 1995 |
Předmět: | |
Zdroj: | Hyomen Kagaku. 16:608-616 |
ISSN: | 1881-4743 0388-5321 |
DOI: | 10.1380/jsssj.16.608 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |