Epitaxial Growth Controlled in Three Dimensions. SENTAXY Selective Nucleation based Epitaxy

Autor: Takao Yonehara
Rok vydání: 1995
Předmět:
Zdroj: Hyomen Kagaku. 16:608-616
ISSN: 1881-4743
0388-5321
DOI: 10.1380/jsssj.16.608
Databáze: OpenAIRE