Исследование разработанного интерференционного зонда для измерения неровностей реальных поверхностей
| Jazyk: | ruština |
|---|---|
| Rok vydání: | 2022 |
| Předmět: | |
| DOI: | 10.25791/pribor.2.2022.1319 |
| Popis: | Настоящая статья посвящена исследованию разработанного интерференционного зонда для измерения неровностей реальных поверхностей. Повышение функциональных возможностей и информационного содержания измерений для интерференционного зонда является важной задачей для оптического приборостроения, поэтому работа актуальна. В статье приведена схема экспериментальных исследований поверхности объекта и описана её работа. Определены требования к параметрам сканирования и получено, что скорость опорного зеркала 390 мм/с при движении объекта 100 мм/с. Приведены экспериментальные результаты зависимости корреляционной функции от поперечного движения исследуемой поверхности объекта, которые показывают, что измерения можно считать независимыми при перемещении объекта в поперечном направлении с шагом измерений 9 мкм. This article to the study of the developed interference probe for measuring the irregularities of real surfaces is devoted. Improving the functionality and information content of measurements for an interference probe is an important task for optical instrumentation, so the work is relevant. The article presents a scheme of experimental studies of the object’s surface and describes its operation. The requirements for the scanning parameters are determined and it is obtained that the speed of the reference mirror is 390 mm/s when the object is moving 100 mm/s. The experimental results of the correlation function dependence on the transverse motion of the object surface under study are presented, which show that the measurements can be considered independent when the object is moved in the transverse direction with a measurement step of 9 microns. Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика, Выпуск 2 2022 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|