Effects of Trapezoidal Fin Shape on Performance of Negative-capacitance FinFETs

Autor:	Mengjie Zhao, Weifeng Lü, Ziqiang Xie, Mengxue Guo, Mi Lin
Rok vydání:	2022
Předmět:	Electrical and Electronic Engineering Electronic Optical and Magnetic Materials
Zdroj:	JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE. 22:283-290
ISSN:	2233-4866 1598-1657
DOI:	10.5573/jsts.2022.22.5.283
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::174dc3f21aea244ae9c71c56036f5532 https://doi.org/10.5573/jsts.2022.22.5.283 Zobrazit plný text záznamu