ChemInform Abstract: Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition of Vanadium Carbide VC1-x and VOx from Vanadocene Cp2V
Autor: | P. Haerter, Harald Suhr, J. Messelhaeuser, L. Deutschmann, Wolfgang A. Herrmann |
---|---|
Rok vydání: | 2010 |
Předmět: | |
Zdroj: | ChemInform. 25 |
ISSN: | 0931-7597 |
DOI: | 10.1002/chin.199436276 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |