Mechanisms and Kinetics of the Hydrogen-Free CVD of Protective Tantalum Coatings
| Autor: | A. N. Lubnin, V. I. Ladyanov, B. E. Pushkarev, I. V. Sapegina, R. R. Faizullin, S. Yu. Treschev |
|---|---|
| Rok vydání: | 2022 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques. 16:254-262 |
| ISSN: | 1819-7094 1027-4510 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|
Full text from SpringerLink