Low-Frequency Noise in Submicrometer MOSFETs With HfO$_2$, HfO$_2/hbox Al_2hbox O_3$and HfAlO$_x$Gate Stacks

Autor: B. Min, S.P. Devireddy, Z. Celik-Butler, F. Wang, A. Zlotnicka, H.-H. Tseng, P.J. Tobin
Rok vydání: 2004
Předmět:
Zdroj: IEEE Transactions on Electron Devices. 51:1679-1687
ISSN: 0018-9383
DOI: 10.1109/ted.2004.835982
Databáze: OpenAIRE