Heavy phosphorus doping of diamond by hot-filament chemical vapor deposition
Autor: | Yūki Katamune, Akira Izumi, Kimiyoshi Ichikawa, Satoshi Koizumi |
---|---|
Rok vydání: | 2023 |
Předmět: | |
Zdroj: | Diamond and Related Materials. 134:109789 |
ISSN: | 0925-9635 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |