P‐18: Student Poster: Non‐Oxidizing Pre‐Annealing for Enhanced Fluorination of an Indium‐Gallium‐Zinc Oxide Thin‐Film Transistor
| Autor: | Nannan Lv, Sisi Wang, Lei Lu, Man Wong |
|---|---|
| Rok vydání: | 2021 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | SID Symposium Digest of Technical Papers. 52:1120-1123 |
| ISSN: | 2168-0159 0097-966X |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|
Plný text