P‐18: Student Poster: Non‐Oxidizing Pre‐Annealing for Enhanced Fluorination of an Indium‐Gallium‐Zinc Oxide Thin‐Film Transistor
Autor: | Nannan Lv, Sisi Wang, Lei Lu, Man Wong |
---|---|
Rok vydání: | 2021 |
Předmět: | |
Zdroj: | SID Symposium Digest of Technical Papers. 52:1120-1123 |
ISSN: | 2168-0159 0097-966X |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |