Investigation on n-Type (−201) β-Ga2O3 Ohmic Contact via Si Ion Implantation
| Autor: | Peipei Ma, Jun Zheng, Yabao Zhang, Zhi Liu, Yuhua Zuo, Buwen Cheng |
|---|---|
| Rok vydání: | 2023 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Tsinghua Science and Technology. 28:150-154 |
| ISSN: | 1007-0214 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|