Drift of MEMS Capacitive Accelerometers for One-Year Room-Temperature Storage: A Simulation and Experimental Study

Autor: Peng Peng, Wu Zhou, Lun Li, Jiangbo He, Bei Peng, Huijun Yu, Xiaoping He
Rok vydání: 2023
Předmět:
Zdroj: IEEE Sensors Journal. 23:202-210
ISSN: 2379-9153
1530-437X
DOI: 10.1109/jsen.2022.3222006
Databáze: OpenAIRE