Drift of MEMS Capacitive Accelerometers for One-Year Room-Temperature Storage: A Simulation and Experimental Study
Autor: | Peng Peng, Wu Zhou, Lun Li, Jiangbo He, Bei Peng, Huijun Yu, Xiaoping He |
---|---|
Rok vydání: | 2023 |
Předmět: | |
Zdroj: | IEEE Sensors Journal. 23:202-210 |
ISSN: | 2379-9153 1530-437X |
DOI: | 10.1109/jsen.2022.3222006 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |