Высокоскоростное осаждение алмазоподобных и алмазных пленок с использованием плазмотрона с межэлектродными вставками

Rok vydání:	2015
Předmět:	Instrumentation
Zdroj:	Приборы и техника эксперимента. :127-131
ISSN:	0032-8162
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::1088f28e69d9f6461ee9d048b200872d https://doi.org/10.7868/s0032816215010322 Zobrazit plný text záznamu