Autor:	William D. Cowan
Rok vydání:	2017
Předmět:	Microelectromechanical systems Nanotechnology
Zdroj:	MOEMS: Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems
DOI:	10.1117/3.2265061.ch12
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::10741796c964915b5e9479b282c78fd8 https://doi.org/10.1117/3.2265061.ch12 Zobrazit plný text záznamu