The Joy in imaging the Auger Electron Signal in a FESEM using a Segmented Annular BSED and Stage Bias

Autor: Alexandra Suvorova, John R. Michael, David C. Joy, Brendan Griffin
Rok vydání: 2018
Předmět:
Zdroj: Microscopy and Microanalysis. 24:620-621
ISSN: 1435-8115
1431-9276
Databáze: OpenAIRE