Xe Plasma FIB-SEM with Improved Resolution of Both Ion and Electron Columns
Autor: | T. Hrncif, Jaroslav Jiruše, Miloslav Havelka, Jan Polster |
---|---|
Rok vydání: | 2015 |
Předmět: | |
Zdroj: | Microscopy and Microanalysis. 21:1995-1996 |
ISSN: | 1435-8115 1431-9276 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |