Electrical conductivity enhancement of epitaxially grown TiN thin films

Autor: Yeong Gwang Khim, Beomjin Park, Jin Eun Heo, Young Hun Khim, Young Rok Khim, Minseon Gu, Tae Gyu Rhee, Seo Hyoung Chang, Moonsup Han, Young Jun Chang
Rok vydání: 2023
Předmět:
Zdroj: Journal of the Korean Physical Society. 82:486-490
ISSN: 1976-8524
0374-4884
DOI: 10.1007/s40042-023-00729-6
Databáze: OpenAIRE
Externí odkaz: