Atomic Layer Etching Applications in Nano-Semiconductor Device Fabrication

Autor:	Dae Sik Kim, Jae Bin Kim, Da Won Ahn, Jin Hyun Choe, Jin Seok Kim, Eun Su Jung, Sung Gyu Pyo
Rok vydání:	2023
Předmět:	Electronic Optical and Magnetic Materials
Zdroj:	Electronic Materials Letters.
ISSN:	2093-6788 1738-8090
DOI:	10.1007/s13391-023-00409-4
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::0c8a5da927d0e2472dc8a543dbd35e17 https://doi.org/10.1007/s13391-023-00409-4 Zobrazit plný text záznamu Full text from SpringerLink