超薄陶瓷纳秒紫外激光高深宽比盲切工艺研究
Autor: | 陈兴华 Chen Xinghua, 李文元 Li Wenyuan, 荣佑民 Rong Youmin, 黄禹 Huang Yu |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | Laser & Optoelectronics Progress. 59:0114010 |
ISSN: | 1006-4125 |
DOI: | 10.3788/lop202259.0114010 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |