High-quality AlN nucleation layer on SiC substrate grown by MOVPE: Growth, structural and optical characteristics
Autor: | Kapil Narang, Akhilesh Pandey, Ruby Khan, Vikash K. Singh, Rajesh K. Bag, M.V.G. Padmavati, Renu Tyagi, Rajendra Singh |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | Materials Science and Engineering: B. 278:115635 |
ISSN: | 0921-5107 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |