Autor:	Andrew Zanzal
Rok vydání:	2005
Předmět:	Computer science
Zdroj:	Handbook of Photomask Manufacturing Technology
DOI:	10.1201/9781420028782.ch1
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::0afc34ebd773d7017b58729e33e35a20 https://doi.org/10.1201/9781420028782.ch1 Zobrazit plný text záznamu