Inverted fireball deposition of carbon films with extremely low surface roughness
Autor: | J. Gruenwald, G. Eichenhofer, G. Filipič, Ž. Federl, W. Feuchtenberger, K. Panos, G. Hernández Rodríguez, A. M. Coclite |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | Carbon Letters. 33:225-231 |
ISSN: | 2233-4998 1976-4251 |
DOI: | 10.1007/s42823-022-00424-9 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |