Meniscus coating and thickness measurement of photoresist
Autor: | 王庆博 Wang Qingbo, 洪义麟 Hong Yi-lin, 刘正坤 Liu Zheng-kun, 付绍军 Fu Shao-jun, 林继平 Lin Jiping, 宝剑光 Bao Jianguang, 梁榉曦 Liang Ju-xi |
---|---|
Rok vydání: | 2014 |
Předmět: | |
Zdroj: | High Power Laser and Particle Beams. 26:101017 |
ISSN: | 1001-4322 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |