Ion erosion and elemental purity of deposited Si films on Al

Autor:	Walt Wriggins, Matthew Wong, Avery Green, John Schuur, Michael I. Current
Rok vydání:	2023
Předmět:	Mechanics of Materials Mechanical Engineering General Materials Science Condensed Matter Physics
Zdroj:	MRS Advances. 7:1441-1444
ISSN:	2059-8521
DOI:	10.1557/s43580-022-00435-8
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::094b8921a4cbbff5e4af85cda8fa571b https://doi.org/10.1557/s43580-022-00435-8 Zobrazit plný text záznamu Full text from SpringerLink