Demolded hollow high aspect-ratio parylene-C micropillars for real-time mechanosensing applications

Autor: Larisa Chmelikova, Peter Fecko, Jiri Chmelik, Josef Skacel, Alexandr Otahal, Zdenka Fohlerova
Rok vydání: 2023
Předmět:
Zdroj: Applied Materials Today. 31:101736
ISSN: 2352-9407
Databáze: OpenAIRE