Electron transport in high power impulse magnetron sputtering at low and high working gas pressure
| Autor: | Martin Rudolph, Dmitry Kalanov, Wahyu Diyatmika, André Anders |
|---|---|
| Rok vydání: | 2021 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Journal of Applied Physics. 130:243301 |
| ISSN: | 1089-7550 0021-8979 |
| DOI: | 10.1063/5.0075744 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|