STRUCTURES AND TECHNOLOGICAL REGIMES OF FORMING SENSITIVE ELEMENTS OF MICROELECTRONIC SENSORS OF FAST ALTERNATING AND STATIC PRESSURE
| Autor: | A. V. Fimin, T. O. Zinchenko, S. A. Gurin, E. A. Pecherskaya, K. O. Nikolaev, Cjsc «Medtekhnika» |
|---|---|
| Rok vydání: | 2019 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Measuring. Monitoring. Management. Control. |
| ISSN: | 2307-5538 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|