Etching Dynamics of Geometrically Confined Silicon Nanostructure
| Autor: | Kunmo Koo, Joon Ha Chang, Sanghyeon Ji, Jacob Choe, Seungmin Shin, Geun-Taek Lee, Tae-Hong Kim, Jong Min Yuk |
|---|---|
| Rok vydání: | 2022 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Microscopy and Microanalysis. 28:126-127 |
| ISSN: | 1435-8115 1431-9276 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|